
تطبيق الأنابيب غير القابل للصدأ في صناعة أشباه الموصلات الأنابيب غير القابل للصدأ، وخاصة أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ غير الملحومة عالية النقاء (316L، 316L EP، BA)، هي مادة أساسية أساسية لا غنى عنها في مصانع تصنيع أشباه الموصلات (Fab)، تؤدي المهام الرئيسية...
تطبيق أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ في صناعة أشباه الموصلات
تعتبر الأنابيب الفولاذية المقاومة للصدأ، وخاصة الأنابيب الفولاذية المقاومة للصدأ غير الملحومة عالية النقاء (316L، 316L EP، BA)، مادة أساسية أساسية لا غنى عنها في مصانع تصنيع أشباه الموصلات (Fabs)، وتؤدي بشكل أساسي مهام نقل الغازات فائقة النقاء والمواد الكيميائية والمياه فائقة النقاء.
إنتاج شرائح أشباه الموصلات حساس للغاية للتلوث:
1. تلوث الجسيمات
2. التلوث المعدني
3. التلوث بالرطوبة
4. التلوث بالمواد العضوية (TOC)
حتى الشوائب على مستوى نانومتر يمكن أن تؤدي إلى فشل الرقاقة بأكملها.
لذلك يجب أن يتمتع نظام النقل بما يلي:
1. نقاء عالي للغاية
2. انبعاث منخفض للغاية للشوائب
3. المقاومة للتآكل
4. لا تشكل الجسيمات
5. القدرة على العمل المستقر على المدى الطويل
وأصبحت الأنابيب المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المصقولة كهربائيًا (EP) هي الحل السائد الآن.
سيناريوهات التطبيق الرئيسية:
1. أنظمة إمداد الغاز الخاصة
2. أنظمة المياه فائقة النقاء
3. أنظمة الإمداد الكيميائي
4. أنظمة الفراغ
معايير الأنابيب غير القابل للصدأ المستخدمة على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات
| الاسم | قياسي |
| مادة | 316 لتر |
| قياسي | أستم A269 |
| معيار نقاء عالي جدًا | شبه F20 |
| المعالجة السطحية | بكالوريوس، إي.بي. |
| خشونة | را ≥ 0.25 ميكرومتر |
| طريقة اللحام | اللحام المداري |
| فئة النظافة | فئة 100 / إسو 5 |